製品詳細

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縦型熱処理爐/
DF2600

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スペックシート(第2版)

本裝置は、半導體製造工程における熱処理工程に使用する縦型熱処理爐(拡散爐)システムです。 従來の半導體工場で使用されている大容量タイプの熱処理爐をリーズナブルな価格でしかもユーザの個別要求に対して1臺毎の特殊仕様にもフレキシブルに対応します。
特徴

■コストパフォーマンス
導入時の顧客対応カスタマイズや立ち上げ時間の短縮により低価格での提供が可能

■フィッティングパフォーマンス
既存クリーンルームに対応した裝置外形
本體寸法:H2600×W900×D1280

■メンテナンスパフォーマンス
主要コンポーネント及びソフトウェアが自社開発の為、將來に渡って保守継続が可能

■カスタマイズパフォーマンス
顧客ニーズに対応した様々なカスタマイズが可能

■プロダクトパフォーマンス
橫型爐からの置き換えが可能な省フットプリント

■エネルギーパフォーマンス
高効率ヒータの開発により當社比10%の省エネを達成
オプション対応により高速昇降溫や高溫プロセスにも対応可能

仕様
●基本仕様
構     造:縦型下方開放方式
処理ウェーハ徑:4,5,6,8インチ
処 理 枚 數:プロセスウェーハ?。保担懊叮?インチ以下)?。保埃懊叮?インチ)
カセット収納 :プロセス、ダミーを含めて最大8カセット(6インチ以下)
プロセス、ダミーを含めて最大6カセット(8インチ以下)
プ ロ セ ス:WET?DRY?ANNEAL etc
使 用 ガ ス :N2、O2、H2 etc
???????????? :3枚固定(標準)、5枚一括/1枚(オプション)
昇降溫レート :昇溫 10℃/min max
降溫 3℃/min max 
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