製品詳細

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ソフトローダ/

橫型拡散爐において、爐心菅とウェーハボートを接觸させずに挿入、引き出しを自動で行うローディング裝置となります。
特徴

■重量対応
最大荷重15kgまで対応可能

■対応ウェハ
4インチ~8インチまで対応可能

■連動対応
インライン移載機、ソフトローダ、拡散爐コントローラと連動して運用可能

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