製品詳細

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ボートエレベータ/

ウェハ移載機と、ソフトランディング裝置またはボートローダ間で、ボートの乗せかえを行う裝置です。 クリンベンチ側より、爐口スカベンジャに向かってエレベータ本體の左側に爐口がある裝置をLタイプ、右側に爐口がある裝置をRタイプがあります。
特徴

■対応重量
最大10kgまで対応可能

■対応ウェハ
4インチ~8インチまで対応可能

■連動対応
インライン移載機、ソフトローダ、拡散爐コントローラと連動して運用可能

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